高端混合型光學式外觀檢查裝置
YSi-V
- 1台設備可同時配備2維檢查、3維檢查、4方向傾斜圖像檢查功能,檢查能力較以往提高2倍以上
- 2D 高速、高解析度2維檢查
- 3D 高度、傾斜面3維檢查(選配)
- 4D 4方向斜視相機(選配)
基本規格
YSi-V |
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對象基板 |
L610×W560(最大) ~ L50×W50(最小)(單軌機型) |
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相機圖元 |
1200萬畫素 |
500萬圖元 |
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類型 |
12M TypeHS2 |
12M TypeS |
12M TypeDF |
5M |
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解析度 |
12µm |
7µm |
12µm |
7µm |
12µm |
18µm |
檢查物件 |
剛貼裝後的元件狀態、固化後的錫膏及元件的狀態 |
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電源規格 |
3相 200/208/220/230/240/400/416V ±10% 50/60Hz |
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供給氣源 |
0.4MPa以上、清潔乾燥狀態 |
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外形尺寸(突起部除外) |
L1,252mm×W1,498mm×H1,550mm |
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主體重量 |
約 1,300kg |
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規格、外觀如有變動,恕不另行通知。